TP630（離子注入）
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關鍵詞：
半導體設備、半導體（tǐ）工藝
所屬分類：
產品描述（shù）
TP630 利用 PUMP 激光器對晶圓表麵加熱來測量反射晶格 damage 程度熱波特征間接計算出與離子植入量成線性關係（xì）的 TW 值（infinity）。
產品詢價
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