OP5240I(膜(mó)厚儀)

91av半導(dǎo)體專注於半(bàn)導體工藝設備的(de)研發、製造、銷售及售後一體化服務,提供半(bàn)導體廠商工藝設備的一站式解決方案。

關鍵詞:

半(bàn)導體設備、半(bàn)導體工藝(yì)

所屬分類:

產品谘詢:

產品描述(shù)

Opti-Probe 5000 用於非接觸式晶(jīng)圓膜厚測量,通(tōng)過測(cè)量單層或(huò)多層晶圓上薄膜的光學參(cān)數(反射光(guāng)和建模(mó)的薄膜參數),計算出薄膜厚度。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不同的技(jì)術來測量薄膜厚度以及(jí)反(fǎn)射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等(děng)光源進行測量。

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91av半導體

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